Semiconductor OEM
COOLTEC
NESLAB Recirculating Chillers and Heat Exchangers는 Thermo Electron Corporation으로부터 디자인되며, 반도체 산업의 생산성관련 고객의 요구사항 적용한 Semiconductor OEM 제품군입니다.
01. 특징
- 최소의 물 사용과 에너지 소비
- Unit 상태를 한눈에볼수 있는 Controllor 사용
- 강력한 모듈의 디자인 & 구조.
- RS232, RS485, Device Net, 아날로그 입출력용이
- 절수 및 운전비용의 감소효과
- 저수위 감시 안전장치 내장
- 고압, 고온 차단 안전장치 내장
- 밀폐 Reservorir에 의해 Coolant 손실 억제
- 외부 순환 기능(Bypass)
- Digital/Microprocessor Controller
02. 적용분야(반도체 공정)
- Dry Etch-Plasma (e.g RF/Microwave)
- Chamber Walls
- Wet Etch
- Cathodes
- Dry Deposition (e.g. CVD, SACVD, PVD)
- Domes
- Wet Depositioin (e.g. ECP)
- Upper/Iower Electrodes
- Ion Implantation
- Chucks/Disks
- Plasma Asher
- Ozone Generators
- Planarization
- Cleaning Baths and Plating Tanks
- Planarization
- RF Power Supplies
